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Kszy-S16扩散炉 恒温槽是百典专为太阳能、光伏行业，源瓶恒温，半导体扩散炉配套而设计的配套型恒温槽。
1、采用高精度动态恒温控制技术和SMT装配技术，*恒温波动度达±0.05℃，专门为半导体扩散炉配套。
2、提供单个源瓶、两个源瓶、和四个源瓶的结构形式，适合不同的应用需求。
3、将源瓶与水介质隔离的铁氟龙隔离套，将任何泄漏事故引起的危险降低到zui低程度。
4、采用全封闭磁力泵循环搅拌，温场均匀，*泄漏。通过将传感器与循环泵液流的一体化设计，大大提高控温精度和温场均匀性。
5、液槽内胆、瓶源隔离套、电热器和蒸发器等可能与工作介质接触的部件采用不锈钢材料，其中瓶源隔离套内壁经铁氟龙处理，专门解决扩散炉应用问题。

Kszy-S16扩散炉 恒温槽技术参数表：